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白光干涉儀的特點和應用領域

點擊次數:2692 更新時間:2016-01-26
 白光干涉儀特點:  
1、非接觸式測量:避免物件受損。  
2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm---200μm。  
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。  
4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達0.1nm。  
5、高速數字信號處理器:實現測量僅需幾秒鐘。  
6、掃描儀:閉環控制系統。  
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓
8、測量軟件:基于windows/Mac/操作系統的用戶界面,強大而快速的運算。  
白光干涉儀應用領域:  
1、半導體晶片  
2、液晶產品(CS,LGP,BIU)  
3、微機電系統  
4、光纖產品  
5、數據存儲盤(HDD,DVD,CD)  
6、材料研究  
7、精密加工表面  
8、生物醫學工程  
 
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