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美國SVT RF/射頻等離子源
更新時間：2024-11-28
產品型號：2.75/4.5“/6.0''
廠商性質：經銷商
生產地址：
產品報價：
產品特點：美國SVT RF/射頻等離子源產品簡介：美國SVT公司的RF等離子源適用于多個公司多種型號。法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會產生高能離子。產生的束流含有零離子，有助于生長高質量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。
產品詳情
美國SVT RF/射頻等離子源適用于多個公司多種型號
法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。
等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會產生高能離子。
產生的束流含有零離子，有助于生長高質量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。
高生長率等離子體源能夠在生長速率大于4μm/hr的情況下生長高質量的薄膜。
光闌和等離子腔形狀可以顧客定制，以滿足客戶對不同流量的需求。
軟件作為可選項，能夠實現自動操作，允許用戶保存數據，編寫工藝程序。
美國SVT RF/射頻等離子源特點
可提供N2、O2、H2等離子源
生長速率大于4μm/hr
源設計有等離子體觀察窗口
光闌和等離子腔形狀可以客戶定制
RF自動調節可選
| RF 功率 | 200-600W |
| 氣體流量 | 0.1-10SCCM |
| 法蘭 | 4.50’’ CF |
| 源直徑 | 2.35’’ |
| 水冷卻 | 0.17GPM 流量(0.227m3/hr) |
| RF匹配網絡 | 手動調節(自動調節可選) |
| 等離子腔 | PBN，氧化鋁，石英 |
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