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美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD

美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD

更新時間:2024-11-28

產品型號:PLD-01/PLD-02

廠商性質:經銷商

生產地址:

產品報價:

產品特點:美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD產品簡介:
●SVT SMART(Scientific Materials and Applied Research Tool)脈沖激光沉積系統具有*性。它可以把激光燒蝕技術和我們所擁有的其他沉積技術(如RF源)集成于一臺設備上。可以生長各種可能的材料。
● 配有6個旋轉靶臺,實現多層薄膜結構生長。
● 可與準分子激光和Yag激光相連。

產品詳情

美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD應用

● 多元素復合氧化物

● 高溫超導材料

● 磁性材料、金屬材料

● 低蒸汽壓材料

● MEMS


基本系統

腔室及真空泵

12’’ 快速門,250l/s 分子泵,全量程規


沉積源

靶臺,6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋轉,可Z方向移動


樣品臺

1’’(25mm)大小,可加熱至800oC(1000oC可選),可水平旋轉,可Z方向移動


在線工藝監控

石英晶振沉積速率監控儀


自動化

自動化裝置:

控制樣品溫度和旋轉

靶臺的位置控制

靶臺旋轉

氣體控制

速率及厚度計算(利用QCM輸出)

激光束掃描(可選)

激光束屏蔽控制

自動泵抽和充氣

差分泵抽結構

RHEED分析(可選)

裝載室壓強監控(可選)


美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD主要特點
RF射頻等離子源(氧,氮)
升級高真空
增加進樣室
升級為Laser-MBE (L-MBE)系統
自動軟件控制

提供更潔凈的薄膜生長環境,控制解決方案






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